Soluzione di monitoraggio del processo di produzione di semiconduttori cubici

Nella produzione di semiconduttoriIndustria, ToMinimizEPerdite di resa, è essenziale per gli impianti di fabbricazione di semiconduttori (semiconduttore Fabs) per accettare le tattiche di controllo della contaminazione nelle camere bianche. Normalmente, pLa materia articolata è una delle principali fonti di micro-contaminazione nei processi di produzione di semiconduttori, che deve essere controllata continuamente.

Al fine di aiutare gli impianti di fabbricazione di semiconduttori (fabs a semiconduttore) monitorano continuamente il particolato ToMantenere bassi livelli di particelle aerotrasportate In camere bianche,CubicoHa fornito affidabile OtticoParticella Contatori basati sulla tecnologia di dispersione della luce,Serie OPC-6303 ESerie OPC-6510, che Realizza il rilevamento accurato di particelle di varie dimensioni in un volume unitario dell'aria.Con un modulo sensore contatore di particelle Laser unico integrato, ventola RPM costante e sensore di flusso ad ultrasuoni ben progettato, OPC-6510 Serie e serie OPC-6303 canFornire una portata stabile e elevata della frequenza di campionamento del gas di 28,3l/min che consente la conformità ISO 21501-4Requisito. CubicoOnline onlineOttico Contatore di particellePuò produrre contemporaneamente il numero di particelle di 5 canali da 0,3 micron, 0,5 micron, 1,0 micron, 5,0 micron, 10 micron in pz/28,3 l o pz/msolo e supporta il 24/7 di funzionamento per garantire un monitoraggio stabile e continuo delle particelle.Per di più,CubicoOttico Contatore di particelle (OPC)SeriePotrebbe ottenere la trasmissione online dei dati di monitoraggio basata sulla comunicazione RS485 ModBus e MQTT, che può essere ancora integrato nel sistema di filtrazione per mantenere l'inquinamento della materia particellare dell'ambiente della camera bianca entro un intervallo di bassa concentrazione.

Ancora, aRealizza in tempo avviso di sicurezza durante i processi di produzione dell'industria dei semiconduttori, Cubico progettato ancheSensore di umidità della traccia basato sulla tecnologia TDLAS E sensore di ossigeno, aMisura IlTraccia il contenuto in gas ad altissima purezza Con alta porosità, alta precisione ed eccellenteAffidabilità.