Secondo le analisi del settore prodotte da SEMI, la micro-contaminazione è un fattore chiave che influenza la stabilità ambientale in ambienti di produzione controllati. Il monitoraggio della pulizia dell'aria della camera bianca è risultato di una parte essenziale del controllo della contaminazione del livello della struttura e dei programmi di garanzia della qualità.
Il particolato è una delle principali fonti di contaminazione nell'aria negli ambienti delle camere bianche. Il monitoraggio continuo delle particelle aerotrasportate aiuta gli operatori delle strutture a controllare le condizioni di pulizia dell'aria e mantenere la conformità agli standard delle camere bianche.
Per supportare il monitoraggio ambientale continuo della camera bianca, Cubic fornisce il contatore di particelle ottiche online OPC-6510DS, progettato per la misurazione in tempo reale della concentrazione di particolato nell'aria in ambienti controllati come impianti di produzione di elettronica e altre applicazioni a base di camere bianche.
Il cubicoOPC-6510DSÈ sviluppato sulla base della tecnologia di dispersione laser e consente il rilevamento accurato di particelle di diverse dimensioni all'interno di un volume unitario dell'aria. Dotato di un modulo contatore di particelle laser integrato, una ventola a RPM costante e un sensore di flusso ad ultrasuoni, il OPC-6510DS fornisce una portata di campionamento stabile di 28.3 L/min, in conformità ai requisiti di classificazione delle camere bianche ISO 14644-1.
Lo strumento supporta l'uscita simultanea su cinque canali di dimensione delle particelle (>0.3 micron, >0.5 micron, >1.0 micron, >5.0 micron, >10 micron), rapporto in pz/28.3 L o pz/m3, ed è progettato per il 24/7 funzionamento continuo per garantire un monitoraggio stabile e a lungo termine dei livelli di particelle aerotrasportate.
Il OPC-6510DS è dotato di un touch screen integrato per la visualizzazione In tempo reale dei dati di monitoraggio e dei livelli di classificazione delle camere bianche. Gli allarmi acustici e visivi sono forniti per supportare gli avvisi ambientali in loco.
I dati di monitoraggio possono essere forniti tramite comunicazione RS485 Modbus e MQTT, consentire l'integrazione con sistemi di monitoraggio delle strutture o di gestione degli edifici, che supportano azioni di controllo ambientale adeguate per mantenere le concentrazione di particelle aerotrasportate entro le soglie di pulizia impostate.